1.温度范围4.3 K~475 K
2.可选低温1.9 K/1.6 K
3.标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制
4.样品可面内±5°旋转
5.样品振动＜30 nm可选
6.超高真空选件
7.可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境
8.环形磁体选件最大0.19T
CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多、高性能的低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，可提供Lake Shore最佳的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。
由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持热的，这与高真空选项一起，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。
温度范围 | ||
最多安装6个探针臂 | 基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K | |
安装PS-LT低温选件 | 基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K | |
安装PS-VLT-CPX极低温选件 | 基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K | |
安装PS-LL-CPX选件（Load Lock） | 基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K | |
温度稳定性 | 液氦 | 液氮 |
基础温度 (无加热控制) | ±15 mK | ±20 mK |
<10 K | ±50 mK | — |
10 K ~ 100 K | ±20 mK | ±50 mK |
101 K ~ 250 K | ±15 mK | ±50 mK |
251 K ~ 350 K | ±15 mK | ±100 mK |
351 K ~ 675 K | ±50 mK | ±100 mK |
真空 | 以TPS-FRG分子泵组为标准 | PS-HV-CPX高真空选件 |
抽真空时间 | 30 min ( <1 × 10-3 Torr) | 10 min ( <1 × 10-3 Torr) |
室温 | <5 × 10-4 Torr | <5 × 10-6 Torr |
基础温度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
最高温度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
循环时间 | ||
总循环 | 3 h | |
抽真空 | 0.5 h | |
探针台冷却 | 1.25 h | |
探针台升温 | 2 h | |
Load Lock样品更换时间 | 1小时（配有PS-LL-CPX选件） | |
样品 | ||
最大尺寸 | 51 mm(2英寸)标准 25.4mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件 25.4mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件 | |
样品背光接口 | 不可选 | |
样品旋转 | ±5°面内旋转 | |
样品振动 | ＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件 | |
探针配置 | ||
最大探针数 | 6 | |
探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 | |
冷却探针支架 | ＜20 K(样品在基础温度下) | |
探针支架 | 连接样品台或4K防辐射屏热沉 | |
探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 | |
微波探针 | 频率范围从DC到67GHz | |
光纤探针 | 可用于电光测量 | |
落针范围 | 所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针 | |